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明年初就能用上氟化氢 三星材料危机或暂时解除

文章作者:来源:www.sroccoqi.cn时间:2019-09-23



驱动中国2019年8月30日消息由于日本贸易制裁,三星在三大关键材料光刻胶、氟化聚酰亚胺和氟化氢方面受到限制,现在,随着8日8时,EUV光刻胶材料被解封,第二大关键材料Hydr氟化根也被从黑名单上除名。

据韩国媒体《朝鲜日报》和《中央日报》日本版30日报道,韩国工业、贸易和资源部指出,日本已于29日批准向三星出口氟化氢。

据报道氟化氢是刻蚀和清洗晶片的关键材料。高纯电子级氟化氢主要用于半导体制造过程中,去除薄膜沉积后附着在化学气相沉积炉上的不必要的化学物质和等离子体。蚀刻,蚀刻光刻胶图案化后的细槽或孔。

7月1日,日本政府宣布将取消韩国对外贸易白名单,并从三个关键材料加强对韩国的出口管制:氟化氢,光刻胶和氟化聚酰亚胺。根据要求,韩国进口日本公司的氟化氢,光刻胶和氟化聚酰亚胺原料,需要提前90天申请。

因此,尽管日本政府在8月7日和19日颁发了两份出口许可证,但它们都面临光刻胶,而不是氟化氢,这是芯片生产中使用的关键材料。现在,日本终于在韩国颁发了氟化氢出口许可证,这意味着三星将在明年初使用这种材料。

这是日本政府首次允许向韩国出口氟化氢产品,因为它在7月4日加强了对三种半导体材料如氟化氢的出口管制。据报道,该许可证是由Stella Chemifa并出口到三星电子。